Википедия

Термическое напыление: различия между версиями

Интерактивная навигация по истории
[непроверенная версия][непроверенная версия]
← Предыдущая правкаСледующая правка →
Содержимое удалено Содержимое добавлено
ВизуальныйВики-текст
Ссылку на метро по букве "м" в предложении "имеет длину свободного пробега 60 м." изменил на ссылку на метр :)
Строка 46:
<references/>
== Литература ==
* {{книга|автор=Готра З. Ю.|заглавие=Технология микроэлектронных устройств. Справочник. |место=М.|издательство=Радио и связь|год=1991|страниц=528|isbn=5-256-00699-1|ref=Готра}}
 
* {{книга
Строка 59:
}}
 
* {{cite bookкнига |last=Jaeger |first=Richard C. |titleзаглавие=Introduction to Microelectronic Fabrication |editionиздание=2nd |yearгод=2002 |publisherиздательство={{Нп3|Prentice Hall}} |locationместо=Upper Saddle River |id=ISBN 0-201-44494-1 |chapterчасть=Film Deposition |ref=Jaeger |язык=en |автор=Jaeger, Richard C.}}
* ''Semiconductor Devices: Physics and Technology,'' by S.M. Sze, ISBN 0-471-33372-7, содержит особенно детальное изложение метода термического испарения.
* R. D. Mathis Company Evaporation Sources Catalog, by R. D. Mathis Company, pages 1 through 7 and page 12, 1992.
Строка 68:
* [http://www.rdmathis.com Examples of evaporation sources]
 
{{Внешние ссылки}}
[[Категория:Технологии электроники]]
[[Категория:Вакуумная техника]]
Источник — https://ru.wikipedia.org/wiki/Термическое_напыление