Термическое напыление: различия между версиями
| [непроверенная версия] | [отпатрулированная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
BsivkoBot (обсуждение | вклад) |
м Удаление шаблонов: {{нп3}}×1 |
||
Строка 59:
}}
* {{книга |заглавие=Introduction to Microelectronic Fabrication |издание=2nd |год=2002 |издательство=
* ''Semiconductor Devices: Physics and Technology,'' by S.M. Sze, ISBN 0-471-33372-7, содержит особенно детальное изложение метода термического испарения.
* R. D. Mathis Company Evaporation Sources Catalog, by R. D. Mathis Company, pages 1 through 7 and page 12, 1992.
| |||