Вакуумметр: различия между версиями

[непроверенная версия][непроверенная версия]
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Нет описания правки
Нет описания правки
Строка 2:
 
По принципу действия вакуумметры можно подразделить на следующие типы:
* классические — являются обычными манометрами (жидкостными либо [[анероид]]ами) для измерения малых давлений. В жидкостных выкуумметрахвакуумметрах в измерительном колене применяется масло с известной [[плотность]]ю и с по возможности малым давлением пара с тем, чтобы не нарушать вакуум. Обычно жидкостные манометры изолируют от остальной вакуумной системы при помощи азотных ловушек — специальных устройств наполняемых жидким [[азот]]ом и служащих для вымораживания паров рабочего вещества манометра. Область измеряемых давлений от 10 до 100000 [[Паскаль (единица измерения)|Па]].
* ёмкостные — основаны на изменении ёмкости [[конденсатор]]а при изменении расстояния между обкладками. Одна из обкладок конденсатора выполняется в виде гибкой мембраны. При изменении давления мембрана изгибается и меняет ёмкость конденсатора, которую можно измерить. После градуировки возможно использовать прибор для измерения давлений. Область измеряемых давлений от 1 до 1000 Па.
* термопарные — принцип действия основан на охлаждении за счёт [[теплопроводность|теплопроводности]]. [[Термопара]] находится в контакте с нагреваемым проводом. Чем лучше вакуум, тем меньше теплопроводность газа, и следовательно выше температура проводника (теплопроводность разрежённого газа прямо пропорциональна его давлению). Проградуировав подключенный к термопаре [[гальванометр]] при известных давлениях можно использовать измеряемое значение температуры для определения давления. Область измеряемых давлений от 10<sup>-3</sup> до 10 [[миллиметр ртутного столба|Torr]]