Эллипсометрия: различия между версиями
| [непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Нет описания правки |
Rasim (обсуждение | вклад) викификация |
||
Строка 1:
[[Файл:Ellipsometry setup.svg|thumb]]
'''Эллипсометрия''' — высокочувствительный и точный [[поляризация света|поляризационно]]-[[оптика|оптический]] метод исследования поверхностей и границ раздела различных сред (твердых, жидких, газообразных), основанный на изучении изменения состояния поляризации света после взаимодействия его с поверхностью границ раздела этих сред.
Термин метода эллипсометрии предложил в 1944 г [[Ротен]], поскольку речь идет об изучении эллиптической поляризации, возникающей в общем случае при наложении взаимно перпендикулярных колебаний, на которые всегда можно разложить поле [[Электромагнитная волна|световой волны]] относительно плоскости её падения. Хотя указанные изменения можно наблюдать как в [[Отражение (физика)|отраженном]], так и в проходящем свете, в настоящее время в подавляющем числе работ изучается поляризация отраженного света. Поэтому обычно в эллипсометрии подразумевают изучение изменений поляризации света при отражении.
Основное уравнение эллипсометрии Друде для отражённого света на первой границе имеет простой вид:
: <math>R_{refr} = -\frac{cos(\theta_{ins} + \theta_{tran})}{cos(\theta_{ins} - \theta_{tran})}</math>
где углы подчиняются [[Закон Снеллиуса|закону Снеллиуса]] в ковариантной форме для комплексного представления показателя преломления
: <math>(nins-ikins)sin(\theta_{ins}) = (ntr-iktr)sin(\theta_{tr})</math>
Непосредственные измерения состояния поляризации света во внешней среде первого отражения на эллипсометрических приборах амплитудно (<math>\Psi = \Psi(\theta)</math>) фазовых (<math>\Delta=\Delta(\theta)</math>) параметров <math>\tan{(\Psi)}\exp{(i\Delta)} = R_{refr}(n,kins)</math> несут информацию об оптических константах сред на этой исследованной границе раздела.
| |||