Лазерная абляция: различия между версиями

'''Ла́зерная абля́ция''' (анг. ''{{lang-en|laser ablation''}}) — метод удаления вещества с поверхности [[Лазер|лазерным]] импульсом. При низкой мощности лазера вещество [[Испарение|испаряется]] или [[Сублимация (физика)|сублимируется]] в виде свободных молекул, атомов и ионов, то есть над облучаемой поверхностью образуется слабая [[плазма]], обычно в данном случае тёмная, не светящаяся (этот режим часто называется ''лазерной [[десорбция|десорбцией]]''). При плотности мощности лазерного импульса, превышающей порог режима абляции, происходит микро-взрыв с образованием кратера на поверхности образца и светящейся [[Плазма|плазмы]] вместе с разлетающимися твёрдыми и жидкими частицами ([[аэрозоль|аэрозоля]]). Режим лазерной абляции иногда также называется ''лазерной искрой'' (по аналогии с традиционной электрической искрой в аналитической спектрометрии, см. [[искровой разряд]]).

Лазерная абляция используется в [[Аналитическая химия|аналитической химии]] и [[Геохимия|геохимии]] для прямого локального и послойного анализа образцов (непосредственно без [[Пробоподготовка|пробоподготовки]]). При лазерной абляции небольшая часть поверхности образца переводится в состояние плазмы, а затем она анализируется, например, методами [[Атомно-эмиссионная спектроскопия|эмиссионной]] или [[Масс-спектрометрия|масс-спектрометрии]]. Соответствующими методами анализа твёрдых проб являются [[лазерно-искровая эмиссионная спектрометрия]] (ЛИЭС; [[Английский язык|''анг''.]] [http://en.wikipedia.org/wiki/Laser_induced_breakdown_spectroscopy LIBS или LIPS]) и лазерно-искровая масс-спектрометрия (ЛИМС). В последнее время быстро развивается метод ЛА-ИСП-МС ([[Индуктивно-связанная плазма в масс-спектрометрии|масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой]] и лазерной абляцией), при котором анализ производится путём переноса продуктов лазерной абляции (аэрозоля) в [[Индуктивно-связанная плазма|индуктивно-связанную плазму]] и последующим детектированием свободных ионов в масс-спектрометре. Перечисленные методы относятся к группе методов аналитической атомной спектрометрии и к более общей совокупности методов [[элементный анализ|элементного анализа]] (см. [[аналитическая химия]]).

*пробоотбор для анализа вещества (LIBS, LA ISP OES, LA ICP MS)

*обработка деталей (micromachining)

*получение тонких пленок, в том числе новых материалов (PLD)