Эллипсометрия: различия между версиями
| [непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Строка 16:
Состояние поляризации света можно разложить на две составляющие ''s'' (осциллирующая перпендикулярно плоскости образца) и ''p'' (осцилляции световой волны параллельно плоскости образца). Амплитуды ''s'' и ''p'' компонент, после отражения и нормализации к изначальным значениям, обозначаются как ''rs'' и ''rp''. Эллипсометрия измеряет комплексный коэффициент отражения системы — <math>\rho</math>, который является отношением rp к rs:
: <math>\rho = \frac{r_p}{r_s}</math>
Комплексный коэффициент отражения также можно параметризовать через амплитуду <math>\Psi</math> и фазовый сдвиг <math>\Delta</math> (различие):
: <math>\rho = \tan ( \Psi ) e^{i \Delta}</math>
Так как эллипсометрия измеряет отношение (или разницу) двух величин, а не абсолютные значения каждо, --- это очень точный и воспроизводимый метод. Например, он относительно устойчив к рассеянию света и флуктуациям, а также не требует стандартного (контрольного) образца или опорного светового луча.
| |||