Планарная технология: различия между версиями

[непроверенная версия][отпатрулированная версия]
Содержимое удалено Содержимое добавлено
м r2.7.2) (бот добавил: uk:Планарна технологія
→‎Принципы технологии: не обязательно полупроводники: еще диэлектрики (напр. сапфир), гетерогенные структуры, и проч.
Строка 3:
== Принципы технологии ==
 
На вход технологии поступают [[Полупроводниковая пластина|пластины]], называемыминазываемые [[Подложка|подложками]]. Состав материала подложек, кристаллическая структура (вплоть до межатомных расстояний в подложках для современных процессоров) и кристаллографическая ориентация строго контролируются. В ходе [[Технологический процесс в электронной промышленности|технологического процесс]]а в приповерхностном слое полупроводникового материала, являющегося подложкой или нанесённого на подложку, создают области с различным типом или величиной проводимости, определяемой в конечном счёте различной концентрацией донорных и акцепторных примесей, а также материалом слоя. Поверх слоя полупроводникового материала, с использованием в нужных местах прослоек диэлектрического материала, наносятся слои проводящего материала, образующего контактные площадки и необходимые соединения между областями. Области и слои проводника, полупроводника и диэлектрика в совокупности образуют структуру полупроводникового прибора или интегральной микросхемы.
 
Особенность планарной технологии состоит в том, что после завершения каждой технологической операции, восстанавливается плоская (планарная) форма поверхности пластины, что позволяет создавать достаточно сложную структуру, используя конечный набор технологических операций.