Вакуумный насос: различия между версиями
| [отпатрулированная версия] | [отпатрулированная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
A5b (обсуждение | вклад) →Классификация: nano.nnov.ru/UserFiles/seminar/92_pestov.ppt - презентация с делением на диапазоны (по давлению) |
A5b (обсуждение | вклад) м ИФМ РАН |
||
Строка 17:
Вакуумные насосы классифицируют как по типу вакуума, так и по устройству. Область давлений, с которой имеет дело {{cl|вакуумная техника}}, охватывает диапазон от 10<sup>5</sup> до 10<sup>−12</sup> Па. Степень вакуума характеризуется коэффициентом Кнудсена <math>Kn</math>, величина которого определяется отношением средней длины свободного пробега [[молекула|молекул]] газа к линейному эффективному размеру вакуумного элемента Lэф. Эффективными размерами могут быть расстояние между стенками вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода, расстояние между электродами прибора.
Вакуумные насосы по назначению подразделяются на сверхвысоковакуумные, высоковакуумные, средневакуумные и низковакуумные, а в зависимости от принципа действия — на механические и физико-химические. Условно весь диапазон давлений для реальных размеров вакуумных приборов может быть разделён на поддиапазоны следующим образом:<ref>nano.nnov.ru/UserFiles/seminar/92_pestov.ppt Понятие вакуума. Вакуумная техника. // ИФМ РАН </ref>
* Низкий вакуум
*: λ << Lэф
Строка 60:
== Применения ==
Для получения той или иной степени вакуума требуются соответствующие насосы или их комбинация. Выбор насоса определяется родом и количеством пропускаемых насосом газов и диапазоном рабочих давлений насоса и его параметрами. Не существует такого насоса, с помощью которого можно было бы обеспечить получение вакуума во всем диапазоне давлений с приемлемой эффективностью.
== Примечания ==
{{примечания}}
== Литература ==
| |||