Вакуумметр: различия между версиями

'''Вакуумме́тр'''  — вакуумный [[манометр]], прибор для измерения давления [[Разрежение|разреженных газов]].

* классические  — являются обычными манометрами (жидкостными либо [[анероид]]ами) для измерения малых давлений. В жидкостных вакуумметрах в измерительном колене применяется масло с известной [[плотность]]ю и с по возможности малым давлением пара с тем, чтобы не нарушать вакуум. Обычно жидкостные манометры изолируют от остальной вакуумной системы при помощи азотных ловушек  — специальных устройств наполняемых жидким [[азот]]ом и служащих для вымораживания паров рабочего вещества манометра. Область измеряемых давлений от 10 до 100000 [[Паскаль (единица измерения)|Па]].

* ёмкостные  — основаны на изменении ёмкости [[конденсатор]]а при изменении расстояния между обкладками. Одна из обкладок конденсатора выполняется в виде гибкой мембраны. При изменении давления мембрана изгибается и меняет ёмкость конденсатора, которую можно измерить. После градуировки возможно использовать прибор для измерения давлений. Область измеряемых давлений от 1 до 1000 Па.

* терморезисторные - — работают в мостовой схеме, стремящейся поддерживать постоянное сопротивление (а значит температуру) терморезистора, открытого измеряемому давлению. Чем выше давление газа, тем большую мощность нужно подводить к терморезистору для поддержания неизменной температуры. Соответственно, между давлением и напряжением на датчике (током через него) имеется однозначная зависимость. Если терморезистором является платиновая нить, то такой датчик называется манометром Пирани. Примером могут служить отечественные датчики ПМТ-6-3. Терморезисторные манометры применяются для измерения давлений от 10^-3−3 до 760 и более [[миллиметр ртутного столба|Torr]]

* термопарные  — принцип действия основан на охлаждении за счёт [[теплопроводность|теплопроводности]]. [[Термопара]] находится в контакте с нагреваемым проводом. Чем лучше вакуум, тем меньше теплопроводность газа, и следовательно выше температура проводника (теплопроводность разрежённого газа прямо пропорциональна его давлению). Проградуировав подключенный к термопаре милливольтметр при известных давлениях можно использовать измеряемое значение температуры для определения давления. К термопарным относятся, например, отечественные датчики ПМТ-2 и ПМТ-4М. Область измеряемых давлений от 10⁻³ до 10 [[миллиметр ртутного столба|Torr]]

* ионизационные  — принцип действия основан на [[ионизация|ионизации]] газа. По сути, представляют собой вакуумный диод, на анод которого подано положительное, а на дополнительный электрод, называемый коллектором, большое отрицательное напряжение. При понижении давления газа уменьшается число [[атом]]ов, способных подвергнуться ионизации, и соответственно ионизационный [[ток]] (ток коллектора), текущий между [[электрод]]ами при данном [[Электрическое напряжение|напряжении]]. Область измеряемых давлений от 10⁻¹² до 10⁻¹ [[миллиметр ртутного столба|Torr]]. Подразделяются на вакуумметры с холодным катодом (Пеннинга и магнетронные) и с накаливаемым катодом. К последним относится датчик ЛМ-2 с постоянной 10⁵мкА/мм.рт.ст.

* альфатрон - — разновидность ионизационного вакуумметра. Отличается от последнего тем, что для ионизации используются не электроны, а альфа-частицы, испускаемые источником (порядка 0,1-1мКюри) на радии или плутонии. Альфатроны проще, надежнее, и точнее вакуумметров с катодом, но из-за низкой чувствительности, требующей очень сложной схемы измерения сверхмалых токов, не могут их заменить. Обычно используются в том же диапазоне давлений, что и термопарные (терморезисторные) вакуумметры.

[[Категория:Инструменты и технологии монтажа холодильного оборудования‎оборудования]]