Термическое напыление: различия между версиями
| [непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Inmodus (обсуждение | вклад) м Inmodus переименовал страницу Участник:Inmodus/Испарение (метод осаждения) в Термическое напыление: Перенос черновика в основное пространс… |
Inmodus (обсуждение | вклад) мНет описания правки |
||
Строка 1:
[[Файл:Coating deposition machine by evaporation at LAAS 0475.jpg|thumb|200px|
'''Термическое напыление''' (также известное как ''термическое испарение'') — широко распространённый метод [[Вакуумное напыление|вакуумного напыления]]. Исходный материал испаряется в [[Вакуум|вакууме]]. Вакуум позволяет частицам [[Паровоз|пара]] [[Конденсация|конденсироваться]] непосредственно на напыляемом изделии (подложке). Термическое напыление используется в [[Микротехнология|микротехнологии]] и для изготовления таких изделий, как металлизированная пластиковая плёнка или [[Тонировка|тонированные стёкла]].
Строка 16:
[[File:Термический испаритель с молибденовой лодочкой.jpg|thumb|right|300px|Испаритель для термического напыления материалов. Видны медные водохлаждаемые токовводы, вакуумный ввод и молибденовая лодочка.]]
Система термического напыления включает в себя, как минимум, вакуумную камеру, в которой поддерживается высокий вакуум специальной откачной системой, подложку и источник тепла, передаваемого испаряемому материалу. В качестве источника тепла могут использоваться:
* резистивные испарители, представляющие собой выполненную из проводящей керамики или [[Тугоплавкие металлы|тугоплавкого металла]] «лодочку» (называемую так благодаря своей форме), сквозь которую пропускается [[электрический ток]], [[Тепловое действие тока|разогревающий]] её. Испаряемый материал помещается в углубление лодочки, где и испаряется (не обязательно из [[Жидкость|жидкой фазы]]). Недостаток этого метода − ограниченный запас материала, лимитированный размерами лодочки. Частный случай — напыление с проволочных нагревателей, на которых испаряемый материал удерживается за счёт сил [[Поверхностное натяжение|поверхностного натяжения]]. Применяется для напыления [[Алюминий|алюминия]].
* [[тигель]] с косвенным нагревом, [[электрон]]ным или [[Индукционный нагрев|индукционным]]. В первом случае нагрев осуществляется электронным потоком, поступающим на тигель с кольцевого катода, расположенного вокруг тигля, во втором − [[Вихревые токи|вихревыми токами]] в самом тигле, возбуждаемыми индуктором.
* электронный луч. В этом случае материал может нагреваться и испаряться локально, оставаясь в основной своей массе холодным, что позволяет иметь очень большой запас материала в тигле. Разновидность этого метода − испарение из «автотигля», когда материал помещается в охлаждаемый тигель, вдоль стенок формируется слой твёрдой фазы, защищающей тигель от воздействия жидкого металла. Такой метод используется, например, для испарения алюминия, в жидком виде чрезвычайно агрессивного к большинству материалов.
Строка 50:
* [http://www.rdmathis.com Examples of evaporation sources]
[[
[[
| |||