Вакуумметр: различия между версиями

* классические — являются обычными манометрами (жидкостными либо [[анероид]]ами) для измерения малых давлений. В жидкостных вакуумметрах в измерительном колене применяется масло с известной [[плотность]]ю и с по возможности малым давлением пара с тем, чтобы не нарушать вакуум. Обычно жидкостные манометры изолируют от остальной вакуумной системы при помощи азотных ловушек — специальных устройств наполняемых жидким [[азот]]ом и служащих для вымораживания паров рабочего вещества манометра. Область измеряемых давлений от 10 до 100000 [[Паскаль (единица измерения)|Па]].

* ёмкостные — основаны на изменении ёмкости [[конденсатор]]а при изменении расстояния между обкладками. Одна из обкладок конденсатора выполняется в виде гибкой мембраны. При изменении давления мембрана изгибается и меняет ёмкость конденсатора, которую можно измерить. После градуировки возможно использовать прибор для измерения давлений. Область измеряемых давлений от 1 до 1000 Па.

* термопарные — принцип действия основан на охлаждении за счёт [[теплопроводность|теплопроводности]]. [[Термопара]] находится в контакте с нагреваемым проводом. Чем лучше вакуум, тем меньше теплопроводность газа, и следовательно выше температура проводника (теплопроводность разрежённого газа прямо пропорциональна его давлению). Проградуировав подключенный к термопаре милливольтметр при известных давлениях можно использовать измеряемое значение температуры для определения давления. К термопарным относятся, например, отечественные датчики ПМТ-2 и ПМТ-4М. Область измеряемых давлений от 10⁻³ до 10 [[миллиметр ртутного столба|Torr]]

* ионизационные — принцип действия основан на [[ионизация|ионизации]] газа. По сути, представляют собой вакуумный диод, на анод которого подано положительное, а на дополнительный электрод, называемый коллектором, большое отрицательное напряжение. При понижении давления газа уменьшается число [[атом]]ов, способных подвергнуться ионизации, и соответственно ионизационный [[ток]] (ток коллектора), текущий между [[электрод]]ами при данном [[Электрическое напряжение|напряжении]]. Область измеряемых давлений от 10⁻¹² до 10⁻¹ [[миллиметр ртутного столба|Torr]]. Подразделяются на вакуумметры с холодным катодом (Пеннинга и магнетронные) и с накаливаемым катодом. К последним относится датчик ЛМ-2 с постоянной 10⁵мкА/мм.рт.ст.