Поликристаллический кремний: различия между версиями

Традиционно поликристаллический кремний получают из технического [[кремний|кремния]] путём перевода его в летучие [[силаны]] (моносилан, хлорсиланы, фторсиланы) с последующими разделением силанов, ректификационной очисткой газа и восстановлением его до металлическогокристаллического кремния.

Для восстановления кремния в технологиях, использующих трихлорсилан, в основном применяется Сименс-процесс: в протоке реакционной парогазовой смеси силанов и водорода на поверхности нагретых до 650—1300&nbsp;°С кремниевых стержней (либо крошек в кипящем слое) происходит восстановление силана и осаждение свободного кремния. Температурный режим реакции существенно зависит от особенностей конструкции реактора и технологии<ref>Петрусевич И. В. Автореферат диссертации, Москва 1965 г.</ref>{{не АИ|21|08|2014}}. За счёт высокой температуры стержней освобождающиеся атомы кремния сразу встраиваются в кристаллическую решётку, образуя кристаллы дендритной структуры. Образующиеся в ходе реакции газообразные продукты уносятся протоком непрореагировавшейне прореагировавшей парогазовой смеси и после очистки и разделения могут быть использованы повторно.