Планарная технология: различия между версиями
| [отпатрулированная версия] | [отпатрулированная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
→Литография: уточнение |
→Литография: оформление |
||
Строка 20:
# [[рентгеновская литография]], λ=0,1—10 нм;
# [[электронно-лучевая литография|электронная литография]];
Приёмы применяемой фотолитографии могут быть сканирующими и проекционными; контактными, бесконтактными, и на микрозазоре. Также может быть ограниченно применён метод радиационно-стимулированной диффузии.
| |||