Особенность-ориентированное сканирование: различия между версиями
[непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Нет описания правки |
Нет описания правки |
||
Строка 1:
'''Особенность-ориентированное сканирование''' (ООС, {{lang-en|FOS – feature-oriented scanning}})<ref>{{cite journal|author=R. V. Lapshin|year=2004|title=Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology|journal=Nanotechnology|volume=15|issue=9|pages=1135-1151|publisher=IOP|location=UK|issn=0957-4484|doi=10.1088/0957-4484/15/9/006|url=http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#feature2004|format=PDF}} (имеется [http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#feature2004 перевод на русский]).</ref><ref>{{cite journal|author=R. V. Lapshin|year=2007|title=Automatic drift elimination in probe microscope images based on techniques of counter-scanning and topography feature recognition|journal=Measurement Science and Technology|volume=18|issue=3|pages=907-927|publisher=IOP|location=UK|issn=0957-0233|doi=10.1088/0957-0233/18/3/046|url=http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#automatic2007|format=PDF}} (имеется [http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#automatic2007 перевод на русский]).</ref><ref>{{cite book|author=R. V. Lapshin|year=2011|contribution=Feature-oriented scanning probe microscopy|title=Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology|editor=H. S. Nalwa|volume=14|pages=105-115|publisher=American Scientific Publishers|location=USA|isbn=1-58883-163-9|url=http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#fospm2011|format=PDF}}</ref><ref>{{cite journal|author=Р. Лапшин|year=2014|title=Особенность-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии “снизу-вверх”|journal=Электроника: Наука, Технология, Бизнес|volume=|issue=Спецвыпуск “50 лет НИИФП”|pages=94-106|publisher=Техносфера|location=Российская Федерация|issn=1992-4178|doi=|url=http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#feature2014|format=PDF}}
В ходе ООС, переходя от одной особенности поверхности к расположенной по соседству другой особенности поверхности, производится измерение относительного расстояния между особенностями, а также измерения рельефов окрестностей этих особенностей. Описанный подход позволяет просканировать заданную область на поверхности по частям, после чего восстановить целое изображение из полученных фрагментов. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода – объектно-ориентированное сканирование.
|