Ионное распыление: различия между версиями
| [отпатрулированная версия] | [отпатрулированная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Inmodus (обсуждение | вклад) м Дoбaвлeнa Категория:Физические процессы с помощью HotCat |
Tempus (обсуждение | вклад) |
||
Строка 96:
== Литература ==
* {{книга
| издательство = [[Атомиздат]]
| автор = {{nobr|Плешивцев Н. В.}}
| заглавие = Катодное распыление
Строка 111:
| ref = Lieberman, Lichtenberg
}}
*{{книга|автор=Ивановский Г. Ф., Петров В. И.|заглавие=Ионно-плазменная обработка материалов|место=М.|издательство=[[Радио и связь]]|год=1986|страниц=232|ref=Ивановскиий, Петров}}
[[Категория:Материаловедение]]
| |||