Электронная литография: различия между версиями
| [непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Метки: с мобильного устройства из мобильной версии |
|||
Строка 16:
== Ограничения по разрешению метода ==
На разрешение деталей рисунка влияют как размер электронного пучка так и процессы взаимодействия электронного пучка с
===Размер электронного пучка ===
| |||