Поликристаллический кремний: различия между версиями
| [отпатрулированная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Qwazzy (обсуждение | вклад) м →В СНГ |
м →Стадии Сименс-процесса: оформление |
||
Строка 66:
;1. Синтез трихлорсилана методом низкотемпературного каталитического гидрирования четыреххлористого кремния
<blockquote>
;2. Последовательное восстановление кремния на подложке
<blockquote>2SiHCl<sub>3</sub> ↔ SiH<sub>2</sub>Cl<sub>2</sub> + SiCl<sub>4</sub><br />2SiH<sub>2</sub>Cl<sub>2</sub> ↔ SiH<sub>3</sub>Cl + SiHCl<sub>3</sub><br />2SiH<sub>3</sub>Cl ↔ SiH<sub>4</sub> + SiH<sub>2</sub>Cl<sub>2</sub><br />SiH<sub>4</sub> ↔ Si +
;3. Повторное использование
Выделяющийся водород и производные соединения можно использовать многократно.
| |||