Нанометрология: различия между версиями

Нанометрология включает в себя теоретические и практические аспекты метрологического обеспечения единства измерений в [[нанотехнология]]х, в том числе: [[эталон]]ы физических величин и эталонные установки, стандартные образцы сравнения; стандартизованные методики измерений физико-химических параметров и свойств объектов нанотехнологий, а также методы [[Калибровка|калибровки]] самих средств измерений,<ref name="automatic1998">{{cite journal|author=R. V. Lapshin|year=1998|title=Automatic lateral calibration of tunneling microscope scanners|journal=Review of Scientific Instruments|volume=69|issue=9|pages=3268-3276|publisher=AIP|location=USA|issn=0034-6748|doi=10.1063/1.1149091|url=http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#automatic1998|format=PDF}}</ref><ref name="approach2015">{{cite journal|author=R. V. Lapshin|year=2015|title=Drift-insensitive distributed calibration of probe microscope scanner in nanometer range: Approach description|journal=Applied Surface Science|volume=359|issue=|pages=629-636|publisher=Elsevier B. V.|location=Netherlands|issn=0169-4332|doi=10.1016/j.apsusc.2015.10.108|url=http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#approach2015|format=PDF}}</ref><ref name="virtual2016">{{cite journal|author=R. V. Lapshin|year=2016|title=Drift-insensitive distributed calibration of probe microscope scanner in nanometer range: Virtual mode|journal=Applied Surface Science|volume=378|issue=|pages=530-539|publisher=Elsevier B. V.|location=Netherlands|issn=0169-4332|doi=10.1016/j.apsusc.2016.03.201|url=http://www.lapshin.fast-page.org/publications.htm#virtual2016|format=PDF}}</ref> применяемых в нанотехнологиях; метрологическое сопровождение технологических процессов производства материалов, структур, объектов и иной продукции нанотехнологий.