Ионно-лучевая литография: различия между версиями
| [непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Нет описания правки |
|||
Строка 9:
* [[Нанопечатная литография]]
* [[Электронная литография]]
* [[Фокусируемый ионный пучок]]
== Литература ==
* Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. - М., Наука-Физматлит, 2007. - 416 с.
| |||