Поликристаллический кремний: различия между версиями

Выделяющийся водород и производные соединения можно использовать многократно.

 

EPC Company Group предложила EPC-SCHMID технологию, основанную на диспропорционировании хлорсиланов, очистке и последующем пиролизе моносилана. По уверениям разработчиков<ref>[http://www.schmid-silicon.com/technologie/schmid-prozess-vs-siemens-prozess.html Schmid Prozess vs. Siemens Prozess<!-- Заголовок добавлен ботом -->]</ref><ref>[http://www.schmid-silicon.com/en/technology/schmid-process-vs-siemens-process.html Schmid Process vs. Siemens Process<!-- Заголовок добавлен ботом -->]</ref>, по энергоёмкости и материалоёмкости технология дает выигрыш до 30% по сравнению с традиционным Сименс-процессом и обеспечивает выход годного продукта на уровне 80% при дополнительной очистке поликремния от бора.