Ионно-лучевая литография: различия между версиями
| [непроверенная версия] | [непроверенная версия] |
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Строка 93:
|страниц=136
|isbn=
}}
* {{книга
|автор= Броудай И.,Мерей Дж.
|заглавие=Физические основы микротехнологии
|ссылка =
|место={{М.}}
|издательство=Мир
|год=1985
|страниц=496
|isbn=200002876210
}}
| |||