Источники плазмы: различия между версиями

[непроверенная версия][непроверенная версия]
Содержимое удалено Содержимое добавлено
Строка 74:
|страниц=727
|isbn=
}}
 
* {{книга
|автор=Попов В. Ф., Горин Ю. Н.
|заглавие=Процессы и установки электронно-ионной технологии
|ссылка =
|место={{М.}}
|издательство=Высш. шк.
|год=1988
|страниц=255
|isbn=5-06-001480-0
}}
 
* {{книга
|автор=Виноградов М.И., Маишев Ю.П.
|заглавие=Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии
|ссылка =
|место={{М.}}
|издательство=Машиностроение
|год=1989
|страниц=56
|isbn=5-217-00726-5
}}