Трихлорсилан

Трихлорсила́н (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Трихлорсилан
Изображение химической структуры
Общие
Хим. формула SiHCl3
Физические свойства
Молярная масса 135.45 г/моль
Плотность 1.342 г/см³
Энергия ионизации 11,7 эВ[1]
Термические свойства
Температура
 • плавления −126.6 °C
 • кипения 31.8 °C
Структура
Дипольный момент 2,9E−30 Кл·м[1]
Классификация
Рег. номер CAS 10025-78-2
PubChem
Рег. номер EINECS 233-042-5
SMILES
InChI
RTECS VV5950000
Номер ООН 1295
ChemSpider
Безопасность
NFPA 704
NFPA 704 four-colored diamondОгнеопасность 4: Быстро или полностью испаряется при нормальном атмосферном давлении и температуре или легко рассеивается в воздухе и легко возгорается (например, пропан). Температура вспышки ниже 23 °C (73 °F)Опасность для здоровья 3: Кратковременное воздействие может привести к серьёзным временным или умеренным остаточным последствиям (например, хлор, серная кислота)Реакционноспособность 2: Подвергается серьёзным химическим изменениям при повышенной температуре и давлении, бурно реагирует с водой или может образовывать взрывчатые смеси с водой (например, фосфор, калий, натрий)Специальный код W: Реагирует с водой необычным или опасным образом (например, цезий, натрий, рубидий)
4
3
2
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.
Логотип Викисклада Медиафайлы на Викискладе

Внешний вид и свойства править

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.

Применение править

Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения плёнок монокристаллического кремния.

Производство править

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. К 2010 году трихлорсилан производился на четырёх российских предприятиях в Усолье-Сибирском (завод «Усольехимпром» закрыт в 2017 году, по состоянию на 2023 год проводятся работы по утилизации опасных материалов, включая трихлорсилан[2]), Новосибирске (ООО «Альфагаз»), Дзержинске (ООО «Фирма „ХОРСТ“»), Новочебоксарске[3] и на Украине, в Запорожье.

Примечания править

  1. 1 2 David R. Lide, Jr. Basic laboratory and industrial chemicals (англ.): A CRC quick reference handbookCRC Press, 1993. — ISBN 978-0-8493-4498-5
  2.   Катастрофа в Усолье-Сибирском: как ликвидируют сибирский "Чернобыль"?
  3. Компания GCL-Poly подписала новые контракты на приобретение оборудования и ноу-хау у компании GT Solar. Новости. Проектный институт «ГИПРОСИНТЕЗ». Дата обращения: 25 ноября 2023. Архивировано из оригинала 30 марта 2012 года.