Трихлорсилан

Трихлорсила́н (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Трихлорсилан
Изображение химической структуры
Общие
Хим. формула SiHCl3
Физические свойства
Молярная масса 135.45 г/моль
Плотность 1.342 г/см³
Термические свойства
Температура
 • плавления −126.6 °C
 • кипения 31.8 °C
Классификация
Рег. номер CAS 10025-78-2
PubChem
Рег. номер EINECS 233-042-5
SMILES
InChI
RTECS VV5950000
Номер ООН 1295
ChemSpider
Безопасность
NFPA 704
Огнеопасность 4: Быстро или полностью испаряется при нормальном атмосферном давлении и температуре или легко рассеивается в воздухе и легко возгорается (например, пропан). Температура вспышки ниже 23 °C (73 °F)Опасность для здоровья 3: Кратковременное воздействие может привести к серьёзным временным или умеренным остаточным последствиям (например, хлор, серная кислота)Реакционноспособность 2: Подвергается серьёзным химическим изменениям при повышенной температуре и давлении, бурно реагирует с водой или может образовывать взрывчатые смеси с водой (например, фосфор, калий, натрий)Специальный код W: Реагирует с водой необычным или опасным образом (например, цезий, натрий, рубидий)NFPA 704 four-colored diamond
4
3
2
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.
Логотип Викисклада Медиафайлы на Викискладе

Внешний вид и свойстваПравить

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.

ПрименениеПравить

Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения плёнок монокристаллического кремния.

ПроизводствоПравить

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на четырёх российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское, в г. Новосибирск ООО "Альфагаз", г.Дзержинск ООО "Фирма "ХОРСТ" , Новочебоксарске[1] и на Украине, в г. Запорожье.

ПримечанияПравить

  1. Проектный институт «ГИПРОСИНТЕЗ». Дата обращения: 7 июня 2011. Архивировано 30 марта 2012 года.