Открыть главное меню

Физико-технологический институт РАН

(перенаправлено с «ФТИАН»)

Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук.

Физико-технологический институт РАН
(ФТИ РАН)
Нииси ран.jpg
Международное название FTI RAS
Основан 1988
Директор чл.-корреспондент РАН
В. Ф. Лукичёв
Расположение  Россия, Москва
Юридический адрес 117218 Москва, Нахимовский проспект 36/1
Сайт ftian.ru

С мая 2017 года директор Физико-технологического института — член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук Владимир Фёдорович Лукичёв.

Научные подразделенияПравить

  • Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ)
  • Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП)
  • Лаборатория субмикронной литографии (СЛ)
  • Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС)
  • Лаборатория физических основ квантовых вычислений

Проекты и исследованияПравить

  • Ионно-лучевые технологии
  • Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС

История ФТИАНПравить

Создан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.

Ранее директорами института были: академик Камиль Ахметович Валиев и сменивший его на этом посту в 2005 году академик Орликовский Александр Александрович.

См. такжеПравить

СсылкиПравить