Виктор Васильевич Савин (1927—1978) — директор НИИТМ и завода «Элион» (1965—1978), лауреат Ленинской премии (1974).

Виктор Васильевич Савин
Дата рождения 31 мая 1927(1927-05-31)
Дата смерти 3 июля 1978(1978-07-03) (51 год)
Род деятельности директор НИИТМ и завода «Элион»
Награды и премии

Ленинская премия

Д. И. Юдицкий докладывает 1-му Зам. Председателя Госплана СССР В. М. Рябикову и первому секретарю МГК КПСС Н. Г. Егорычеву о разработке ЭВМ «Алмаз». Юдицкий и Рябиков — на переднем плане справа. За ними — В. В. Савин

Родился 31.05.1927.

С 1964 г. и. о. директора, с января 1965 г. директор НИИ точного машиностроения (НИИТМ) и завода «Элион» (Зеленоград).

В период его руководства созданы:

  • вакуумно-напылительные установки на основе базовой модели УВН-70А-1, электронно-лучевая установка ЭЛУМ-1 для производства гибридных ИС, установки наращивания эпитаксиальных слоев, лазерная установка для обработки изделий микроэлектроники (1966—1967).
  • комплект оборудования «Корунд-С» для массового производства ИС на кремниевых пластинах диаметром 40 и 60 мм (1968).
  • многопозиционное, многореакторное вакуумно-напылительное оборудование для производства ИС (1969).
  • оборудование для производства ИС на пластинах диаметром 76 мм (1970).
  • вакуумно-напылительные установки с электронно-лучевыми и ионными системами (1971).
  • комплекты оборудования для массового изготовления ИС (1972—1974).
  • высокопроизводительные вакуумно-напылительное установки полу- и непрерывного действия, автоматизированные поточные линии для физико-термических операций, комплекты плазмохимического оборудования (1975—1977).

Кандидат технических наук.

Умер 03.07.1978. Похоронен на городском кладбище Зеленограда.

В 1974 году за вклад в организацию Научного центра микроэлектроники, формирование и развитие науки и промышленности Зеленограда удостоен Ленинской премии в составе коллектива (Валиев К. А., Гуськов Г. Я., Ливинцев Л. Н., Малинин А. Ю.)[1].

Примечания

править
  1. Постановление ЦК КПСС и Совета Министров СССР от 21 апреля 1974 года

Источники

править