Трихлорсилан: различия между версиями

'''Трихлорсилан''' (SiHCl3, ТХС, силан треххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 С и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.Трихлорсилан является сырьем для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения пленок монокристаллического кремния.