Трихлорсилан: различия между версиями

'''Трихлорсилан''' (''ТХС, силан треххлористыйтрёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан'') — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжелыетяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.

Трихлорсилан является сырьемсырьём для производства поликристаллического кремния, [[моносилан]]а и [[дихлорсилан]]а (которые также используются в синтезе [[Поликристаллический кремний|поликремния]]), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, [[микроэлектроника]], где он используется для эпитаксиального осаждения пленок монокристаллического кремния.

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем [[СССР]] мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на двух российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское и Новочебоксарске<ref>{{cite web|url=http://www.giprosintez.ru/News/2010/10-01-29.html|title=Проектный институт «ГИПРОСИНТЕЗ»|accessdate=2011-06-07|archiveurl=http://www.webcitation.org/66Yk6Gumy|archivedate=2012-03-31}}</ref> и на Украине, в г. Запорожье.