Спейсер (англ. spacer) — в модулированно-легированной гетероструктуре нелегированный слой полупроводника с большой шириной запрещённой зоны, разделяющий двумерный электронный (дырочный) газ и легированный слой с донорами (акцепторами). Вводится для того чтобы как можно дальше разнести заряженные примеси и двумерный электронный газ, поскольку для повышения подвижности необходимо уменьшить рассеяние связанное с кулоновским потенциалом примесей.[1]

Примечания править

  1. Гридчин В. А., Драгунов В. П., Неизвестный И. Г., В. А. Основы наноэлектроники, 2-е изд (неопр.). — Москва: Физматкнига, 2004. — С. 496.